特許
J-GLOBAL ID：202003015902338056
電子線照射装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
特許業務法人森本国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-091020
公開番号（公開出願番号）：特開2020-186982
出願日： 2019年05月14日
公開日（公表日）： 2020年11月19日
要約：
【課題】電子線の出力を大きくし得る電子線照射装置を提供する。【解決手段】内部に電子線発生器3が配置された真空チャンバ2と、電子線発生器3からの電子線Eを真空チャンバ2の外部まで透過させる透過窓4と、透過窓4からの電子線Eを成形して導く電子線成形部材5とを備える電子線照射装置1である。電子線照射装置1は、電子線成形部材5で成形された電子線Eを導くノズル7と、電子線成形部材5およびノズル7の内部を所定の気体雰囲気にする気体雰囲気調整部8とを備える。所定の気体雰囲気とは、低真空(気圧が102Pa以上105Pa未満)、または、空気よりも密度の小さい気体雰囲気である。透過窓4の電子線Eを透過させる部分Dは、ノズル7の内径dよりも大径である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
内部に電子線発生器が配置された真空チャンバと、
前記電子線発生器からの電子線を真空チャンバの外部まで透過させる透過窓と、
前記透過窓からの電子線を成形して導く電子線成形部材と、
前記電子線成形部材で成形された電子線を導くノズルと、
前記電子線成形部材およびノズルの内部を、低真空または空気よりも密度の小さい気体雰囲気にする気体雰囲気調整部とを備え、
前記透過窓の電子線を透過させる部分が、前記ノズルの内部における横断面よりも大きいことを特徴とする電子線照射装置。
IPC (3件)：
G21K 5/00
, G21K 5/04
, G21K 1/093
G21K5/00 W
, G21K5/04 E
, G21K5/00 B
, G21K5/00 D
, G21K1/093 F
