特許
J-GLOBAL ID：202003016280444640
ワークステージ及び露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
保立 浩一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-145551
公開番号（公開出願番号）：特開2018-017771
特許番号：特許第6774714号
出願日： 2016年07月25日
公開日（公表日）： 2018年02月01日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 板状のワークを保持するワークステージであって、
ワーク保持面にワーク用真空吸着孔を有するステージ本体と、
ワーク保持面に設定された保持位置でワークが当接した際にワーク用真空吸着孔を真空吸引してワークを吸着する排気系とを備えたワークステージであって、
ワーク保持面には収縮シートが設けられており、
収縮シートは、ワーク用真空吸着孔が設けられた領域の外側において当該領域を取り囲む形状であって、保持位置においてワーク保持面にワークが当接した際にワークとステージ本体のワーク保持面との間に挟み込まれた状態で当該ワークの周辺部に沿って延びる形状であり、
収縮シートは、ワーク保持面に当接したワークが真空吸着される際に厚さ方向に収縮してワークと密着する弾性による柔軟性を有しており、当該柔軟性はワークの周辺部の変形に応じて異なる厚さに収縮してワークの変形をなぞった状態となる収縮性であり、当該変形及び異なる厚さへの収縮は、ワークの周辺部の周方向における変形及び異なる厚さへの収縮を含んでおり、
収縮シートは、ワークの厚さ方向の最大変形量を超える厚さを有しており、
収縮シートは、着脱可能にワーク保持面に取り付けられており、
前記収縮シートは、枠体に張られた状態で設けられており、
枠体は、前記ワークが前記ワーク保持面に当接して真空吸着された際に当該ワークよりも外側となる位置で前記収縮シートを固定していることを特徴とするワークステージ。
IPC (2件)：
G03F 7/20 ( 200 6.01)
, H01L 21/683 ( 200 6.01)
G03F 7/20 501
, H01L 21/68 P
