特許
J-GLOBAL ID：201003055752207661
ワークステージ及びそのワークステージを備えた露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
七條 耕司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-038719
公開番号（公開出願番号）：特開2010-197415
出願日： 2009年02月22日
公開日（公表日）： 2010年09月09日
要約：
【課題】反りの大きなワークであっても、真空吸着ができるようなシール用弾性体を備えたワークステージ、及びそのワークステージを備えた露光装置を提供する。【解決手段】真空吸着孔54が形成され、ワーク7を吸着して保持するワーク吸着部51と、ワーク吸着部51の周縁に環状に設けられたシール用弾性体53とを備えたワークステージにおいて、シール用弾性体53は、内側に開いた第1のリップシール5311と、第1のリップシール5311の外側に設けられ外側に開いた第2のリップシール5312とを備え、第1のリップシール5311と第2のリップシール5312との間に真空供給孔532が設けらていることを特徴とするワークステージである。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
真空吸着孔が形成され、ワークを吸着して保持するワーク吸着部と、該ワーク吸着部の周縁に環状に設けられたシール用弾性体とを備えたワークステージにおいて、
上記シール用弾性体は、内側に開いた第1のリップシールと、前記第1のリップシールの外側に設けられ外側に開いた第2のリップシールとを備え、前記第1のリップシールと前記第2のリップシールとの間に真空供給孔が設けられていることを特徴とするワークステージ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F7/20 501
, H05K3/00 H
2H097BA02
, 2H097DB07
, 2H097LA09
, 2H097LA11
, 2H097LA12
