イオン分析装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人京都国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-550967
特許番号：特許第6750684号
出願日： 2016年11月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】試料が載置される試料載置部と、前記試料載置部に載置される試料の表面に対して垂直な中心軸を有する励起ビームを照射する励起ビーム照射部と、前記中心軸に垂直な測定軸の方向から飛来するイオンを捕捉し、続いて予め決められた物理量に応じて該イオンを分離し測定する分析部と、前記中心軸を挟んで配置された1対のロッド電極又は平板電極と、前記測定軸を挟んで配置された1対のロッド電極又は平板電極を備え、前記試料から生成されるイオンの少なくとも一部を前記測定軸方向に飛行させる偏向部と、前記中心軸と同軸である光軸を有する、前記試料の表面を撮像する撮像部とを備えることを特徴とするイオン分析装置。

IPC (2件)：