光干渉センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：稲葉良幸 , 大貫敏史 , 江口昭彦 , 内藤和彦 , 阿部豊隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-240025
公開番号（公開出願番号）：特開2020-101453
出願日： 2018年12月21日
公開日（公表日）： 2020年07月02日
要約：

【課題】光学系を固定したまま参照光の光路長を変更し、測定範囲を広げることができる光干渉センサを提供する。【解決手段】光干渉センサ1は、対象物100までの距離を測定する第1測定部11と、第2光路23に接続され、第2光路23を通る光を光路長が異なる複数の光路に分岐させ、複数の光路を通った光を合流させて第2光路23に返す参照光路25と、反射光及び参照光を合流させた干渉光を分光分析する分析部26と、第1測定部11による測定結果に基づいて、複数の光路のうちいずれの光路を通った光が反射光と干渉したかを特定する特定部27と、特定部27により特定された光路の長さ及び分析部26による分析結果に基づいて、対象物100までの距離を第1測定部11より高精度で測定する第2測定部28と、を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

対象物に第1光を照射する第1光源と、前記対象物で反射した前記第1光に基づいて、前記対象物までの距離を測定する第1測定部と、複数の波長の第2光を出射する第2光源と、前記第2光を第1光路及び第2光路に分岐させるスプリッタと、前記第1光路を通る光を前記対象物に照射し、前記対象物で反射した反射光を前記第1光路に返すセンサヘッドと、前記第2光路に接続され、前記第2光路を通る光を光路長が異なる複数の光路に分岐させ、前記複数の光路を通った光を合流させた参照光を前記第2光路に返す参照光路と、前記反射光及び前記参照光を合流させた干渉光を分光分析する分析部と、前記第1測定部による測定結果に基づいて、前記複数の光路のうちいずれの光路を通った光が前記反射光と干渉したかを特定する特定部と、前記特定部により特定された光路の長さ及び前記分析部による分析結果に基づいて、前記対象物までの距離を前記第1測定部より高精度で測定する第2測定部と、を備える光干渉センサ。

IPC (2件)：

G01B 11/00 , G01B 9/02

FI (2件)：

G01B11/00 G , G01B9/02

Fターム (45件)：

2F064AA01 , 2F064CC04 , 2F064CC10 , 2F064EE01 , 2F064EE09 , 2F064FF01 , 2F064FF07 , 2F064GG02 , 2F064GG06 , 2F064GG12 , 2F064GG22 , 2F064GG44 , 2F064GG49 , 2F064HH01 , 2F064HH03 , 2F064HH05 , 2F064HH08 , 2F064JJ04 , 2F064JJ15 , 2F065AA02 , 2F065AA06 , 2F065DD03 , 2F065DD06 , 2F065FF09 , 2F065FF11 , 2F065FF52 , 2F065FF61 , 2F065GG06 , 2F065GG24 , 2F065HH04 , 2F065JJ01 , 2F065JJ03 , 2F065JJ15 , 2F065JJ18 , 2F065JJ26 , 2F065LL03 , 2F065LL04 , 2F065LL10 , 2F065LL12 , 2F065LL42 , 2F065LL47 , 2F065LL67 , 2F065QQ03 , 2F065QQ16 , 2F065QQ29

引用特許：

出願人引用 (3件)

距離測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2013-061497 出願人：アイシン精機株式会社
表面形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-093669 出願人：国立大学法人宇都宮大学
光断層画像測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-278512 出願人：コニカミノルタオプト株式会社

審査官引用 (2件)

距離測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2013-061497 出願人：アイシン精機株式会社
表面形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-093669 出願人：国立大学法人宇都宮大学

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