特許
J-GLOBAL ID：201103047852445165

表面形状測定装置

発明者：
小野 明

小野 明 について

, 
谷田貝 豊彦

谷田貝 豊彦 について


出願人/特許権者：
国立大学法人宇都宮大学

国立大学法人宇都宮大学 について


代理人 (2件)： 大場 充 ,  堀川 美夕紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-093669
公開番号（公開出願番号）：特開2011-226785
出願日： 2010年04月15日
公開日（公表日）： 2011年11月10日
要約：
【課題】可干渉距離を超える奥行きを持つ被測定体の表面形状を迅速に測定できる装置を提供する。【解決手段】フォトカプラ13との間の光路長に差を設けられて配置される参照ミラー251、252、253、254、25Nを有する参照光生成部20を備える。参照ミラー251、252、253、254、...25Nは、この順に可干渉距離ΔZの光路長差を設けて配置されている。走査軸24を中心に走査ミラー23を揺動させることで、走査ミラー23による反射光を参照ミラー251、252、253、254、...25Nに順に照射することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
検査光を出力する光源と、 前記光源から出力される前記検査光を、被測定体の表面の測定位置に照射される第1分割光と、参照光生成部に照射される第2分割光と、に分割する光分割部と、 前記被測定体の表面で前記第1分割光が反射して得られる物体光と、前記参照光生成部で前記第2分割光が反射して得られる参照光と、を干渉させて干渉光を生成する干渉光生成部と、 前記干渉光生成部によって生成された前記干渉光の強度を検出する検出部と、を備え、 前記参照光生成部は、 各々の光路の末端に光反射面を有し、前記光分割部との間の光路長に差を設けられて配置される第1生成部ないし第N生成部(N=2以上の整数)からなる複数の参照光生成部を備え、 前記第1生成部から前記第N生成部にかけての前記光路長の差の総和が、可干渉距離ΔZの2倍以上に設定されている、 ことを特徴とする表面形状測定装置。
IPC (1件)：
G01B 11/24
FI (2件)：
G01B11/24 A ,  G01B11/24 D
Fターム (18件)：
2F065AA53 ,  2F065FF41 ,  2F065FF48 ,  2F065FF51 ,  2F065GG07 ,  2F065HH03 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065LL08 ,  2F065LL12 ,  2F065LL30 ,  2F065LL46 ,  2F065LL57 ,  2F065LL62 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065SS13
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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