特許
J-GLOBAL ID:202003016897914392

シート貼付装置および貼付方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-108816
公開番号(公開出願番号):特開2017-216344
特許番号:特許第6672079号
出願日: 2016年05月31日
公開日(公表日): 2017年12月07日
請求項(抜粋):
【請求項1】 被着体を支持する支持面に臨む位置に接着シートを繰り出す繰出手段と、 前記支持面で前記被着体を支持する支持手段と、 支持された被着体に前記接着シートを押圧して貼付する押圧手段と、 前記被着体に接着シート部分が残るように当該被着体に貼付された接着シートを所定形状に切断する切断手段と、 前記接着シートにおける前記接着シート部分以外の不要シートを巻き取る巻取手段と、 前記支持面と前記接着シートとを相互に離間接近させる方向に前記巻取手段を移動させる移動手段とを備え、 前記移動手段は、前記接着シートの繰出方向に交差する幅方向と平行な回転軸を中心として前記巻取手段を回動させることを特徴とするシート貼付装置。
IPC (1件):
H01L 21/683 ( 200 6.01)
FI (1件):
H01L 21/68 N
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (1件)
  • シート切断方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2007-319336   出願人:リンテック株式会社

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