特許
J-GLOBAL ID：201503002765780906
ウエハへの保護テープの貼付装置およびウエハの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
赤松 善弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-038212
公開番号（公開出願番号）：特開2015-162634
出願日： 2014年02月28日
公開日（公表日）： 2015年09月07日
要約：
【課題】ウエハの周端部を効率よく封止することができるウエハへの保護テープの貼付装置および保護テープが貼付されたウエハの製造方法を提供する。【解決手段】ウエハWの外径よりも大きい外径を有する保護テープAを当該ウエハWの周端部から保護テープAが突出するようにウエハWの裏面に貼付するための保護テープAの貼り付け部dと、前記保護テープAの貼り付け部で保護テープAが貼付されたウエハWの表面に当該ウエハWの外径よりも大きい外径を有する保護テープBを当該ウエハWの周端部から突出させて貼付し、保護テープAの周端部と保護テープBの周端部とを一体化させ、ウエハWの周端部を封止するための端部封止部iを備えていることを特徴とする。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
ウエハに保護テープを貼付するための保護テープの貼付装置であって、
ウエハの外径よりも大きい外径を有する保護テープAを当該ウエハの周端部から保護テープAが突出するようにウエハの裏面に貼付するための保護テープAの貼り付け部と、
前記保護テープAの貼り付け部で保護テープAが貼付されたウエハの表面に当該ウエハの外径よりも大きい外径を有する保護テープBを当該ウエハの周端部から突出させて貼付し、保護テープAの周端部と保護テープBの周端部とを一体化させ、ウエハの周端部を封止するための端部封止部と
を備えていることを特徴とするウエハへの保護テープの貼付装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (27件)：
5F131AA02
, 5F131BA53
, 5F131BB03
, 5F131CA12
, 5F131DA12
, 5F131DA33
, 5F131DA36
, 5F131DA42
, 5F131DA62
, 5F131DB22
, 5F131DB51
, 5F131DB72
, 5F131EA07
, 5F131EA23
, 5F131EA24
, 5F131EB02
, 5F131EC34
, 5F131EC62
, 5F131EC65
, 5F131EC68
, 5F131EC72
, 5F131FA26
, 5F131FA35
, 5F131KA11
, 5F131KB04
, 5F131KB54
, 5F131KB55
