特許
J-GLOBAL ID：200903019734366658
シート貼付装置及び貼付方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-293784
公開番号（公開出願番号）：特開2008-112789
出願日： 2006年10月30日
公開日（公表日）： 2008年05月15日
要約：
【課題】断続的な切り込みによって形成された接着用シートを被着体に貼付することに適したシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある【解決手段】片面側に接着剤層Aが設けられているとともに、所定間隔ごとに略閉ループ状の軌跡に沿う断続的な切り込み11によって形成された接着用シートS2と、不要シート部分S3に設けられた引裂部12を有する帯状シートSを用いたシート貼付装置であり、前記接着用シートS2を押圧ローラ15で押圧してリングフレームRF及びウエハWに貼り付けるとともに、引き裂き手段18で帯状シートSを幅方向にエキスパンドして切り込み11とこれに連なる引裂部12に引き裂き力を付与し、これにより接着用シートS2と不要シート部分S3とを分離する【選択図】図1
請求項（抜粋）：
片面側に接着剤層が設けられているとともに、所定間隔ごとに略閉ループ状の軌跡に沿う断続的な切り込みによって形成された接着用シートと、当該接着用シートの外側に位置する不要シート部分に設けられた引裂部とを備えた帯状シートを用い、当該帯状シートを繰り出して前記接着用シートをテーブル上に支持された被着体に貼付するシート貼付装置において、
前記接着用シートを押圧して当該接着用シートを被着体に貼付する押圧手段と、前記断続的な切り込み及び引裂部に引き裂き力を付与して前記接着用シートと不要シート部分とを分離する引き裂き手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (12件)：
5F031CA02
, 5F031DA13
, 5F031HA10
, 5F031HA13
, 5F031HA24
, 5F031HA28
, 5F031HA29
, 5F031HA52
, 5F031HA58
, 5F031HA78
, 5F031LA15
, 5F031MA37
