特許
J-GLOBAL ID：202003016971428756
計測対象物の面外変位分布や3次元形状を計測する方法とその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
あいわ特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-009215
公開番号（公開出願番号）：特開2020-118533
出願日： 2019年01月23日
公開日（公表日）： 2020年08月06日
要約：
【課題】比較的遠方に位置する測定対象物の面外方向の変位の分布を、投光側と受光側とを略同軸に配置した状態で計測する方法およびその方法を用いる装置を提供する。【解決手段】物体の表面に干渉縞を投影し、投影された干渉縞の反射光を撮像手段で撮像する計測方法において、前記干渉縞は、3方向から照射される可干渉の光波による干渉の原理に基づいて、3方向から照射される光の照射方向に干渉縞が現れる領域と現れない領域からなる3光束干渉縞が形成され、前記3光束干渉縞により前記計測対象物の変位または3次元形状を計測する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
物体の表面に干渉縞を投影し、投影された干渉縞の反射光を撮像手段で撮像する計測方法において、
前記干渉縞は、3方向から照射される可干渉の光波による干渉の原理に基づいて、3方向から照射される光の照射方向に干渉縞が現れる領域と現れない領域からなる3光束干渉縞が形成され、
前記3光束干渉縞により前記計測対象物の変位または3次元形状を計測する、計測方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B11/00 G
, G01B11/25 G
2F065AA01
, 2F065AA51
, 2F065AA53
, 2F065CC16
, 2F065DD02
, 2F065DD03
, 2F065DD06
, 2F065FF04
, 2F065FF44
, 2F065FF51
, 2F065HH07
, 2F065HH14
, 2F065JJ19
, 2F065JJ26
, 2F065LL42
, 2F065QQ25
