特許
J-GLOBAL ID：202003018355456030

固体撮像素子、固体撮像素子の製造方法および撮像システム

発明者：
山崎 隆博

山崎 隆博 について

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箕輪 雅章

箕輪 雅章 について

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太田 径介

太田 径介 について

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桜木 孝正

桜木 孝正 について

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海部 紀之

海部 紀之 について

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小泉 徹

小泉 徹 について

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斉藤 和宏

斉藤 和宏 について

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小林 大祐

小林 大祐 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (4件)： 岡部 讓 ,  越智 隆夫 ,  吉澤 弘司 ,  齋藤 正巳
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-053833
公開番号（公開出願番号）：特開2017-055099
特許番号：特許第6736318号
出願日： 2016年03月17日
公開日（公表日）： 2017年03月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 画素ウェル領域および周辺ウェル領域を含む半導体基板と、 前記画素ウェル領域の上に配された画素グラウンド配線と、 前記周辺ウェル領域の上に配された周辺グラウンド配線と、 前記画素グラウンド配線と前記周辺グラウンド配線とを電気的に接続するグラウンド接続部と、 前記画素グラウンド配線と前記画素ウェル領域とを接続する複数の画素ウェルコンタクトと、 前記周辺グラウンド配線と前記周辺ウェル領域とを接続する複数の周辺ウェルコンタクトと、 前記画素ウェル領域に複数の列をなすように配置され、それぞれが画素信号を出力する複数の画素と、 前記周辺ウェル領域に配置され、前記複数の画素からの前記画素信号を受ける第1入力端子、および、参照信号を受ける第2入力端子を有する読み出し回路と、 前記周辺ウェル領域に配置され、グラウンド電圧の供給される第1電極を有し、前記参照信号を前記読み出し回路の前記第2入力端子に出力する参照信号回路と、 前記参照信号回路の前記第1電極と前記画素グラウンド配線とを接続する配線と、 を備え、 前記画素グラウンド配線、前記周辺グラウンド配線及び前記グラウンド接続部を含むグラウンド配線は、外部のグラウンド配線とループを形成し、 前記複数の画素ウェルコンタクトのうち、前記第1電極までの電気抵抗値が最小である電気経路の抵抗値R1と、前記複数の周辺ウェルコンタクトのうち最も前記第1電極の近くに配された1つから前記グラウンド接続部を介した前記第1電極までの電気経路の抵抗値R2とが、R1<R2の関係を満たす、 ことを特徴とする固体撮像素子。
IPC (3件)：
H01L 27/146 ( 200 6.01) ,  H04N 5/357 ( 201 1.01) ,  H04N 5/369 ( 201 1.01)
FI (3件)：
H01L 27/146 A ,  H04N 5/357 ,  H04N 5/369
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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