特許

J-GLOBAL ID：202003018623161269

硫黄ドープグラフェンベースの窒素酸化物ガスセンサの製造方法

発明者： 李 鉄 ,  郭 聯峰 ,  梁 晨 ,  王 躍林
出願人/特許権者： 中国科学院上海微系統与信息技術研究所
代理人 (1件)： 黒田 雄一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-524256
特許番号：特許第6707638号
出願日： 2016年01月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 硫黄ドープグラフェンベースの窒素酸化物ガスセンサの製造方法において、 測定電極及びヒータが設けられたマイクロヒータプラットフォーム基板と真性グラフェンとを提供し、前記真性グラフェンを前記マイクロヒータプラットフォーム基板に転写する第1のステップと、 表面が前記真性グラフェンにより被覆された前記マイクロヒータプラットフォーム基板を化学気相蒸着反応炉に配置する第2のステップと、 希ガスを用い、前記反応炉に対してガスの導入及び排出処理を実施する第3のステップと、 第1の温度において、前記反応炉内に希ガスと水素ガスを同時に導入する第4のステップと、 第2の温度において、前記反応炉内に希ガス、水素ガス及び硫黄源ガスを導入して反応させることで、前記真性グラフェンを硫黄ドープする第5のステップと、 硫黄源ガスの導入を停止して、水素ガス及び希ガスによる保護雰囲気下で前記反応炉を降温させる第6のステップと、を含むことを特徴とする硫黄ドープグラフェンベースの窒素酸化物ガスセンサの製造方法。

IPC (1件)：

G01N 27/12 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01N 27/12 M ,  G01N 27/12 C

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ガスセンサチップ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-100079   出願人：新コスモス電機株式会社, 財団法人新産業創造研究機構, 日本板硝子株式会社
• ガス検知素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-200991   出願人：国立大学法人大阪大学, 新コスモス電機株式会社
• NOxセンサおよび排気浄化システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-051183   出願人：住友電気工業株式会社