ガス検知素子

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：北村修一郎 , 山▲崎▼ 徹也 , 太田隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-200991
公開番号（公開出願番号）：特開2010-038692
出願日： 2008年08月04日
公開日（公表日）： 2010年02月18日
要約：

【課題】長期安定性の良好なガス検知素子を提供する。【解決手段】絶縁基板2の上に設けた検出電極3,4と、検出電極3、4に接触するカーボンナノチューブを主成分とする感応層5とを備え、カーボンナノチューブに誘電体膜を被覆した。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

絶縁基板の上に設けた検出電極と、当該検出電極に接触するカーボンナノチューブを主成分とする感応層とを備え、前記カーボンナノチューブに誘電体膜を被覆してあるガス検知素子。

IPC (1件)：

G01N 27/12

FI (2件)：

G01N27/12 B , G01N27/12 C

Fターム (9件)：

2G046AA08 , 2G046AA11 , 2G046AA13 , 2G046BA01 , 2G046BA07 , 2G046BA09 , 2G046BB02 , 2G046BE03 , 2G046FB00

引用特許：

出願人引用 (5件)

半導体式ガス検知素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-354249 出願人：国立大学法人大阪大学, 新コスモス電機株式会社
気体検知装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-297710 出願人：富士通株式会社
ガスセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-117495 出願人：松下電工株式会社

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審査官引用 (5件)

気体検知装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-297710 出願人：富士通株式会社
半導体式ガス検知素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-354249 出願人：国立大学法人大阪大学, 新コスモス電機株式会社
ガスセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-117495 出願人：松下電工株式会社

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