特許
J-GLOBAL ID:201003010425013493

ガス検知素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 北村 修一郎 ,  山▲崎▼ 徹也 ,  太田 隆司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-200991
公開番号(公開出願番号):特開2010-038692
出願日: 2008年08月04日
公開日(公表日): 2010年02月18日
要約:
【課題】長期安定性の良好なガス検知素子を提供する。【解決手段】絶縁基板2の上に設けた検出電極3,4と、検出電極3、4に接触するカーボンナノチューブを主成分とする感応層5とを備え、カーボンナノチューブに誘電体膜を被覆した。【選択図】図1
請求項(抜粋):
絶縁基板の上に設けた検出電極と、当該検出電極に接触するカーボンナノチューブを主成分とする感応層とを備え、 前記カーボンナノチューブに誘電体膜を被覆してあるガス検知素子。
IPC (1件):
G01N 27/12
FI (2件):
G01N27/12 B ,  G01N27/12 C
Fターム (9件):
2G046AA08 ,  2G046AA11 ,  2G046AA13 ,  2G046BA01 ,  2G046BA07 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046BE03 ,  2G046FB00
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 半導体式ガス検知素子
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2004-354249   出願人:国立大学法人大阪大学, 新コスモス電機株式会社
審査官引用 (5件)
  • 気体検知装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2004-297710   出願人:富士通株式会社
  • 半導体式ガス検知素子
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2004-354249   出願人:国立大学法人大阪大学, 新コスモス電機株式会社
  • ガスセンサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2003-117495   出願人:松下電工株式会社
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