特許

J-GLOBAL ID：200903088022970178

ガスセンサチップ及びその製造方法

発明者： 出来 成人 ,  伊藤 達也 ,  神田 奎千 ,  鈴木 健吾 ,  山中 直樹 ,  関口 幸成 ,  斉藤 靖弘
出願人/特許権者： 新コスモス電機株式会社 ,  財団法人新産業創造研究機構 ,  日本板硝子株式会社
代理人 (1件)： 北村 修一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-100079
公開番号（公開出願番号）：特開2005-315874
出願日： 2005年03月30日
公開日（公表日）： 2005年11月10日
要約：

【課題】 ガス検知感度が良好なガスセンサチップ、及びその製造方法を提供する。【解決手段】 基板11の一方の面に電極12,13を設け、基板11の一方の面と電極12,13の表面とにセラミックスの被覆層14を形成したガスセンサチップであって、セラミックスの粒子径を8〜30nmとし、また、その製造方法として、基板11の一方の面に電極12,13を設ける工程と、基板11の一方の面及び電極12,13の表面に液相析出法によるセラミックスの被覆層14を形成する工程とを含むものとする。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

基板の一方の面に電極を設け、前記基板の一方の面と前記電極の表面とにセラミックスの被覆層を形成したガスセンサチップであって、 前記セラミックスの粒子径が8〜30nmであるガスセンサチップ。

IPC (1件)：

G01N27/12

FI (2件)：

G01N27/12 C ,  G01N27/12 M

Fターム (21件)：

2G046AA02 ,  2G046AA11 ,  2G046AA13 ,  2G046AA18 ,  2G046AA19 ,  2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046BC04 ,  2G046BC08 ,  2G046BE03 ,  2G046EA02 ,  2G046EA04 ,  2G046EA09 ,  2G046EA11 ,  2G046FB02 ,  2G046FC01 ,  2G046FE15 ,  2G046FE39 ,  2G046FE46 ,  2G046FE48

引用特許：

出願人引用 (2件)

• ガスセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-341856   出願人：フイガロ技研株式会社
• 感湿素子、その製法およびそれを用いた感湿装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-353699   出願人：株式会社リコー

審査官引用 (6件)

• 半導体式ガス検知素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-068384   出願人：新コスモス電機株式会社
• 水素ガス検出素子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-135345   出願人：日本特殊陶業株式会社
• 基板型半導体式ガスセンサ及びガス検出器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-048393   出願人：新コスモス電機株式会社
• 無水アンチモン酸亜鉛半導体ガスセンサー及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-059430   出願人：日産化学工業株式会社
• 抵抗型酸素センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-240360   出願人：独立行政法人産業技術総合研究所
• ガスセンサの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-100078   出願人：日本板硝子株式会社, 財団法人新産業創造研究機構, 新コスモス電機株式会社