特許
J-GLOBAL ID:202003018790520866
計測イメージング装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
宇都宮 正明
, 柳瀬 睦肇
, 渡部 温
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-212722
公開番号(公開出願番号):特開2020-039841
出願日: 2018年11月13日
公開日(公表日): 2020年03月19日
要約:
【課題】実際に生成される偏向波動が直交座標系の軸方向等に対して対称にならずに計測精度が低下する問題を克服して、計測精度を向上させる。【解決手段】この計測イメージング装置は、センサーと、信号処理部と、ステアリングされた波動を生成して計測対象を横方向に走査し、波動データ信号を生成するように信号処理部を制御する計測制御部と、少なくとも2つの時相において生成される波動データ信号に対応するスペクトルから得られる2つの複素解析信号の積又は共役積の信号の瞬時位相の変化を核に有する2つの複素信号の積又は共役積の信号の位相を用いて、互いに直交する方向に伝搬する新しい波動の瞬時位相の変化又は位相を互いに直交する方向の瞬時周波数又は対応するスペクトルの重心周波数で除することにより、互いに直交する方向の変位成分を算出して変位ベクトルを算出するデータ処理部とを備える。【選択図】図2
請求項(抜粋):
計測対象を透過し、又は、計測対象によって反射又は屈折又は散乱又は回折した波動を受信して少なくとも1つの受信信号を出力する少なくとも1つのセンサーと、
前記少なくとも1つの受信信号を処理する信号処理部と、
電子的又は機械的に少なくとも1つのステアリングされた波動を生成して、前記計測対象を横方向に走査し、少なくとも2つの時相において波動データ信号を生成するように前記信号処理部を制御する計測制御部と、
前記少なくとも2つの時相において生成される波動データ信号に変位計測法を施して変位ベクトルを算出するデータ処理部と、
を具備し、前記データ処理部が、3次元の直交座標系の場合に前記信号処理部によって生成される前記波動を含む零度又は非零度の互いに異なる偏向角度を有する少なくとも3つのステアリングされた波動に対し、又は、2次元の直交座標系の場合に前記信号処理部によって生成される前記波動を含む零度又は非零度の互いに異なる偏向角度を有する少なくとも2つのステアリングされた波動に対し、前記少なくとも2つの時相におけるそれぞれのステアリングされた波動で単独に前記計測対象を走査して生成される波動データ信号に対応する単一のオークタント又はクァドラントのスペクトルから得られる2つの複素解析信号の積又は共役積の信号のそれぞれが表す、互いに直交する方向に伝搬する新しい波動のそれぞれの瞬時位相の変化、又は、前記少なくとも2つの時相におけるそれぞれのステアリングされた波動で単独に前記計測対象を走査して生成される波動データ信号に対応する単一のオークタント又はクァドラントのスペクトルから得られる波動の瞬時位相の変化を核に有する2つの複素信号の積又は共役積の信号のそれぞれの位相を用いて、前記2つの複素解析信号又は前記2つの複素信号の積又は共役積の信号のそれぞれが表す、互いに直交する方向に伝搬する新しい波動の前記それぞれの瞬時位相の変化を、前記互いに直交する方向のそれぞれの瞬時周波数又は対応するスペクトルの重心周波数で除することにより、前記互いに直交する方向のそれぞれの変位成分を算出して、前記3次元の直交座標系の場合に3次元変位ベクトルを算出し、前記2次元の直交座標系の場合に2次元変位ベクトルを算出する、計測イメージング装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (21件):
4C601BB02
, 4C601BB03
, 4C601BB06
, 4C601BB09
, 4C601BB22
, 4C601BB23
, 4C601BB24
, 4C601DE08
, 4C601DE16
, 4C601EE07
, 4C601EE09
, 4C601GB03
, 4C601HH21
, 4C601HH25
, 4C601HH38
, 4C601JB03
, 4C601JB28
, 4C601JB34
, 4C601JB41
, 4C601JB49
, 4C601KK24
引用特許:
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