レーザ装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高村順
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-040074
公開番号（公開出願番号）：特開2017-157707
特許番号：特許第6739191号
出願日： 2016年03月02日
公開日（公表日）： 2017年09月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】レーザガスが充填されるレーザガス容器にガス供給源から前記レーザガスを供給するガス供給部と、前記レーザガス容器からレーザガスを外部に排出する排出部と、前記レーザガス容器に充填されるレーザガスの圧力値を入力する入力装置と、前記レーザガス容器内の前記レーザガスの圧力を検出する圧力検出手段と、前記レーザガス容器に供給される前記レーザガスの流量を検出する状態量検出手段と、前記レーザガス容器内の圧力を変化させる制御バルブを備え、前記レーザガス容器にレーザガスを供給する流路に設けられる流路開度変更手段と、前記入力装置に入力された圧力値と前記状態量検出手段の検出結果とに基づいて、前記レーザガス容器内に供給される前記レーザガスの圧力の第一設定値を生成する制御手段と、前記第一設定値と前記圧力検出手段の検出結果とに基づいて、前記制御バルブの内部に設けられた開度を連続的に変化させることで前記レーザガス容器内の圧力を調整する調整手段と、を備えることを特徴とするレーザ装置。

IPC (3件)：

H01S 3/131 ( 200 6.01) , H01S 3/00 ( 200 6.01) , H01S 3/036 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H01S 3/131 , H01S 3/00 G , H01S 3/036

引用特許：

出願人引用 (9件)

特開昭63-288081
特開平3-003383
ガス圧力制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-179201 出願人：ファナック株式会社

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審査官引用 (9件)

特開昭63-288081
特開平3-003383
ガス圧力制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-179201 出願人：ファナック株式会社

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