特許
J-GLOBAL ID：202003019390311407

光計測装置

発明者：
中村 共則

中村 共則 について


出願人/特許権者：
浜松ホトニクス株式会社

浜松ホトニクス株式会社 について


代理人 (4件)： 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  柴山 健一 ,  諏澤 勇司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-169563
公開番号（公開出願番号）：特開2020-043225
出願日： 2018年09月11日
公開日（公表日）： 2020年03月19日
要約：
【課題】DUTの評価の精度を高めること。【解決手段】第1の波長を含む計測光を生成する光源9aと、第2の波長を含む刺激光を生成する光源9bと、出力端11a2と入力端11a1,11b1との間で分岐して設けられた光ファイバ11a,11bを含み、入力端11a1が光源9aの出力と光学的に結合され、入力端11b1が光源9bの出力と光学的に結合され、計測光と刺激光を合波して合波光を生成し、合波光を出力端11a2から出力するWDM光カプラである光結合部11と、DUT10からの反射光の強度を検出する光検出器29と、合波光をDUT10上の測定点10aに向けて導光し、測定点10aからの反射光を光検出器29に向けて導光する光照射/導光システム5と、測定点を移動させるガルバノミラー19と、を備え、光ファイバ11a,11bは第1の波長に対してシングルモードで光を伝搬する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1の波長を含む計測光を生成する第1の光源と、 前記第1の波長より短い第2の波長を含む刺激光を生成する第2の光源と、 出力端と第1の入力端及び第2の入力端との間で分岐して設けられた光ファイバを含み、前記第1の入力端が前記第1の光源の出力と光学的に結合され、前記第2の入力端が前記第2の光源の出力と光学的に結合され、前記計測光と前記刺激光を合波して合波光を生成し、前記合波光を前記出力端から出力するWDM光カプラである光結合部と、 測定対象物からの反射光あるいは透過光の強度を検出して検出信号を出力する光検出器と、 前記合波光を前記測定対象物上の測定点に向けて導光し、前記測定点からの反射光あるいは透過光を前記光検出器に向けて導光する光学系と、 前記測定点を移動させる走査部と、 を備え、 前記光ファイバは、少なくとも前記第1の波長に対してシングルモードで光を伝搬する性質を有する、 光計測装置。
IPC (2件)：
H01L 21/66 ,  G01N 21/17
FI (2件)：
H01L21/66 L ,  G01N21/17 Z
Fターム (31件)：
2G059AA03 ,  2G059BB16 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059FF01 ,  2G059FF03 ,  2G059FF04 ,  2G059GG01 ,  2G059GG06 ,  2G059HH01 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ07 ,  2G059JJ15 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01 ,  2G059KK02 ,  2G059LL01 ,  2G059MM01 ,  2G059NN06 ,  4M106AA01 ,  4M106BA05 ,  4M106CB01 ,  4M106CB11 ,  4M106DH12 ,  4M106DH39 ,  4M106DH40 ,  4M106DJ15
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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