特許
J-GLOBAL ID：202003019585143541

無水ナジック酸重合体及びそれに由来する感光性組成物

発明者：
ナップ, ブライアン

ナップ, ブライアン について

, 
バーンズ, シェリル

バーンズ, シェリル について


出願人/特許権者：
プロメラス, エルエルシー

プロメラス, エルエルシー について


代理人 (3件)： 安部 誠 ,  大井 道子 ,  谷 征史
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-503696
特許番号：特許第6765501号
出願日： 2017年07月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】からなる群より選択される単量体に由来する第1繰り返し単位、及び からなる群より選択される単量体に由来する第2繰り返し単位と、からなり、 前記第1繰り返し単位:前記第2繰り返し単位のモル比が1:99〜50:50である、共重合体。
IPC (7件)：
C08F 232/00 ( 200 6.01) ,  G03F 7/004 ( 200 6.01) ,  G03F 7/32 ( 200 6.01) ,  G03F 7/40 ( 200 6.01) ,  G03F 7/039 ( 200 6.01) ,  G03F 7/038 ( 200 6.01) ,  G03F 7/20 ( 200 6.01)
FI (7件)：
C08F 232/00 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/32 ,  G03F 7/40 501 ,  G03F 7/039 601 ,  G03F 7/038 601 ,  G03F 7/20 501
引用特許：
審査官引用 (6件)
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