特許
J-GLOBAL ID:202003019621002941

スペクトル測定装置およびスペクトル測定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  柴山 健一 ,  柴田 昌聰
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2019-031782
公開番号(公開出願番号):特開2020-136608
出願日: 2019年02月25日
公開日(公表日): 2020年08月31日
要約:
【課題】波長掃引可能な外部共振型レーザ光源から出力されるレーザ光のスペクトルを高精度かつ安価に測定することができる装置を提供する。【解決手段】スペクトル測定装置1は、信号生成部20、検出器30、ADコンバータ40及び演算部50を備える。外部共振型レーザ光源10は、量子カスケードレーザ11及び回折格子12を含む。信号生成部20は、回折格子12により選択される共振波長の掃引を繰り返し指示する波長掃引信号、及び、波長掃引信号の指示に基づく波長掃引の各期間において量子カスケードレーザ11の励起のオン/オフを繰り返し指示する励起指示信号を出力する。演算部50は、ADコンバータ40から出力されるデジタル値を入力して、波長掃引の各期間において発振スペクトルを求め、波長掃引の期間毎に励起指示信号の位相を変化させて求めた発振スペクトルを積算する。【選択図】図2
請求項(抜粋):
励起されることにより広帯域の光を発生し得る光増幅媒体と、前記光増幅媒体で発生した光を共振させる共振器と、前記広帯域のうちから前記共振器における共振波長を選択する波長選択部と、を含む外部共振型レーザ光源から出力されたレーザ光のスペクトルを測定する装置であって、 前記波長選択部により選択される共振波長の掃引を繰り返し指示する波長掃引信号を生成して出力するとともに、前記波長掃引信号の指示に基づく波長掃引の各期間において前記光増幅媒体の励起のオン/オフを繰り返し指示する励起指示信号を生成して出力し、前記波長掃引の期間毎に前記励起指示信号の位相の調整が可能である信号生成部と、 前記外部共振型レーザ光源から出力されたレーザ光を受光して、そのレーザ光の強度を表す検出信号を出力する検出器と、 前記波長掃引の各期間において、前記励起指示信号の指示に基づく前記光増幅媒体の励起のオン/オフの繰り返し頻度より高い頻度で、前記検出器から出力される検出信号の値を繰り返しデジタル値に変換して該デジタル値を出力するADコンバータと、 前記波長掃引の各期間において前記ADコンバータから出力されたデジタル値に基づいて発振スペクトルを求め、前記波長掃引の期間毎に前記信号生成部により前記励起指示信号の位相を変化させて求めた前記発振スペクトルを積算することで、前記外部共振型レーザ光源から出力されるレーザ光のスペクトルを求める演算部と、 を備えるスペクトル測定装置。
IPC (3件):
H01S 5/14 ,  H01S 5/34 ,  G02B 26/02
FI (3件):
H01S5/14 ,  H01S5/34 ,  G02B26/02 A
Fターム (14件):
2H141MA22 ,  2H141MB17 ,  2H141MD12 ,  2H141MD20 ,  2H141MD24 ,  2H141MD40 ,  2H141ME04 ,  2H141MF01 ,  2H141MZ16 ,  5F173AB34 ,  5F173AB46 ,  5F173SA09 ,  5F173SA14 ,  5F173SA26
引用特許:
審査官引用 (3件)

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