特許
J-GLOBAL ID：200903032787922079

MEMS波長掃引光源の波長校正装置及び方法

発明者：
斉藤 崇記

斉藤 崇記 について


出願人/特許権者：
アンリツ株式会社

アンリツ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-039055
公開番号（公開出願番号）：特開2007-220864
出願日： 2006年02月16日
公開日（公表日）： 2007年08月30日
要約：
【課題】MEMSスキャナを利用して高速に波長掃引を行うMEMS波長掃引光源の発振波長の校正を正確に行うMEMS波長掃引光源の波長校正装置を提供する。【解決手段】処理手段10は、PD7から出力される波長情報を持った電気信号aを受けて、MEMS波長掃引光源5の掃引波長範囲におけるエタロン6の複数の透過光に対応するそれぞれのピークを検出するとともに検出したピークのそれぞれにMEMS波長掃引光源5の波長掃引の時間Tに対応づけてピークの次数nを付与し、付与された次数nとMEMSスキャナ60の静止時の発振波長λSとエタロン6の複数の既知波長λRとに基づいて当該次数nのそれぞれのピークのピーク波長を既知波長λRのそれぞれに特定し、特定されたそれぞれのピークのピーク波長を用いてMEMS波長掃引光源5の波長掃引時の発振波長λをMEMS波長掃引光源5の波長掃引の時間Tに対応づけて求める。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
半導体レーザ(1)、コリメートレンズ(2)、回折格子(3)及びMEMSスキャナ(60)を含んで構成され、前記MEMSスキャナを駆動して往復掃引させることによって波長掃引を行う外部共振器型の光源にして、前記MEMSスキャナの駆動時の発振波長λが、該MEMSスキャナの静止時の発振波長λS、波長掃引振幅Λ、掃引周波数f及び時間Tを用いてλ=λS+Λsin(2πfT)で表される波長掃引特性を有するMEMS波長掃引光源(5)と、 前記回折格子の0次光が出射される光路上に設けられ、波長範囲2Λにわたって等間隔に配列された少なくとも4つ以上の複数の既知波長λRの光を透過させる光共振器(6)と、 前記MEMS波長掃引光源の発振波長λの変化に対応して前記光共振器から順次出射される透過光を受けて電気信号に変換する受光器(7)と、 該受光器から出力される前記電気信号から前記波長範囲2Λにおける前記光共振器の複数の透過光に対応するそれぞれのピークを検出するとともに検出した該ピークのそれぞれに前記MEMS波長掃引光源の波長掃引の時間Tに対応づけてピークの次数nを付与し、付与された該次数nと前記MEMSスキャナの静止時の前記発振波長λSと前記光共振器の複数の前記既知波長λRとに基づいて当該次数nのそれぞれのピークのピーク波長を該既知波長λRのそれぞれに特定し、特定された該それぞれのピークのピーク波長を用いて前記MEMS波長掃引光源の波長掃引時の発振波長λを当該MEMS波長掃引光源の波長掃引の時間Tに対応づけて求める処理手段(10)とを備えたことを特徴とするMEMS波長掃引光源の波長校正装置。
IPC (4件)：
H01S 5/14 ,  G01J 9/00 ,  G02B 26/08 ,  G02B 26/00
FI (4件)：
H01S5/14 ,  G01J9/00 ,  G02B26/08 E ,  G02B26/00
Fターム (10件)：
2H041AA13 ,  2H041AA21 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  5F173AB33 ,  5F173AB43 ,  5F173AB46 ,  5F173AR06 ,  5F173SF09 ,  5F173SF33
引用特許：
審査官引用 (4件)
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