特許
J-GLOBAL ID：202003019922818777

走査型プローブ顕微鏡及び表面画像補正方法

発明者：
平出 雅人

平出 雅人 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (2件)： 吉本 力 ,  新宅 将人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-041693
公開番号（公開出願番号）：特開2019-158387
特許番号：特許第6631647号
出願日： 2018年03月08日
公開日（公表日）： 2019年09月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 試料の表面に沿って相対変位されるカンチレバーと、 試料の表面に対して互いに交差するX方向及びY方向にそれぞれ前記カンチレバーを相対変位させることにより走査を行う走査処理部と、 前記走査処理部の走査により取得された試料の表面画像に対して、当該表面画像におけるX-Y平面と交差するZ方向への傾斜を補正するための画像処理を行う傾斜補正処理部とを備え、 前記傾斜補正処理部は、前記表面画像から所定方向に沿って一直線上で複数の画素を抽出し、抽出された各画素の輝度に基づいて当該表面画像の傾斜を補正するものであり、前記X-Y平面に平行で且つ前記X方向及び前記Y方向に対して交差する少なくとも一方向に平坦面を有する試料の前記表面画像を補正する場合に、前記一方向に沿って前記複数の画素を抽出できるように画像処理を行うことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (1件)：
G01Q 30/06 ( 201 0.01)
FI (1件)：
G01Q 30/06
引用特許：
審査官引用 (4件)
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