特許
J-GLOBAL ID：201303090523769704

走査型プローブ顕微鏡用データ処理装置

発明者：
山崎 賢治

山崎 賢治 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (1件)： 特許業務法人京都国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-271630
公開番号（公開出願番号）：特開2013-122432
出願日： 2011年12月12日
公開日（公表日）： 2013年06月20日
要約：
【課題】固体表面近傍空間における3次元力分布等の計測が可能なSPMで得られた3次元データに基づく構造解析に際し、ユーザが関心のある断面画像を簡便な操作で選択・表示できるようにし解析効率を向上させる。【解決手段】3次元空間内の各位置におけるデータ値を示す立体オブジェクト50から切り出された2次元分布画像52上でユーザにより任意の点Paが指定されると、表示処理部は点Paを通る直線上のデータ分布をグラフ化し表示する。次に、その1次元グラフ54上でユーザにより任意の点Pbが指定されると、点Pbを含む新たな2次元分布画像55を作成・表示する。1次元グラフ54上でユーザが着目したデータ値に対応した位置の2次元分布画像が迅速に表示されるので操作性が良好である。また、1次元グラフの位置を示す線状オブジェクト56を3D表示画像に重ねて表示することで、データ分布と3次元的な位置との対応関係が把握し易くなる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
走査型プローブ顕微鏡を用いて収集された3次元空間内の各位置における所定の物理量を示す3次元分布データに基づいて該物理量の2次元的及び3次元的分布を示す画像を作成して表示する走査型プローブ顕微鏡用データ処理装置において、 a)前記所定の物理量の3次元分布データに基づいて、3次元空間内の任意の直線又は曲線に沿ったデータ値の分布を示す1次元グラフを作成して表示する1次元グラフ表示処理手段と、 b)前記1次元グラフ表示処理手段により表示された1次元グラフ上で任意の位置をユーザが選択指示するための関心位置指定手段と、 c)前記所定の物理量の3次元分布データに基づく3次元分布画像を前記関心位置指定手段により指定された位置を含む平面で切断された2次元断面上の各位置のデータ値を示す2次元分布画像を作成して表示する2次元分布画像表示処理手段と、 を備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用データ処理装置。
IPC (1件)：
G01Q 30/04
FI (1件)：
G01Q30/04
引用特許：
審査官引用 (4件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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