特許
J-GLOBAL ID：202003020234532337
重合体およびポジ型レジスト組成物
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
杉村 憲司
, 寺嶋 勇太
, 高橋 林太郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-500514
特許番号：特許第6680291号
出願日： 2016年02月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 α-メチルスチレン単位と、α-クロロアクリル酸メチル単位とを含有し、
重量平均分子量(Mw)が10000以上17000以下であり、
分子量分布(Mw/Mn)が1.25未満であり、
分子量が6000未満の成分の割合が0.5%超5.0%以下であり、
分子量が20000超の成分の割合が35%以上70%以下である、重合体。
IPC (4件)：
C08F 212/06 ( 200 6.01)
, C08F 220/22 ( 200 6.01)
, G03F 7/039 ( 200 6.01)
, G03F 7/20 ( 200 6.01)
C08F 212/06
, C08F 220/22
, G03F 7/039 501
, G03F 7/20 521
