特許
J-GLOBAL ID：202003020478677906
排気システム及びこれを用いた基板処理装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-055220
公開番号（公開出願番号）：特開2017-167102
特許番号：特許第6727871号
出願日： 2016年03月18日
公開日（公表日）： 2017年09月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 処理対象を処理可能な処理室に接続され、前記処理対象を処理中の前記処理室内の圧力を直接測定する第1の圧力計と、
前記処理室に接続された第2の圧力計と、
前記処理室内で前記処理対象を処理中に、前記第2の圧力計と前記処理室との接続を遮断可能な第1の切換え弁と、を有し、
前記第2の圧力計は、前記処理室に前記第1の圧力計とともに接続される合流配管と、該合流配管に前記第2の圧力計のみが接続される分岐配管を介して前記処理室に接続されており、
前記第1の切換え弁は、該分岐配管に設けられており、
前記第1の圧力計と前記第2の圧力計は、共通の前記合流配管を介して、前記処理室と接続されており、
前記処理室に排気配管を介して接続された真空ポンプと、
前記排気配管に設けられ、前記真空ポンプにより排気される前記処理室内の圧力を調整する圧力調整弁と、
前記合流配管に設けられ、前記第1の圧力計及び前記第2の圧力計と前記処理室との接続を遮断可能な第2の切換え弁と、
前記合流配管の前記第2の切換え弁よりも前記第1の圧力計側及び前記第2の圧力計側の部分を前記真空ポンプに前記処理室及び前記圧力調整弁を経由することなく接続するバイパス配管と、
前記バイパス配管に設けられ、前記第1の圧力計及び前記第2の圧力計と前記真空ポンプとの前記処理室及び前記圧力調整弁を経由しない接続を切換え可能な第3の切換え弁と、を有する排気システム。
IPC (2件)：
G01L 27/00 ( 200 6.01)
, G01L 19/06 ( 200 6.01)
G01L 27/00
, G01L 19/06 Z
