ウエハの異常を検査する装置及びその検査方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：伊東忠重 , 伊東忠彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-161160
公開番号（公開出願番号）：特開2018-029154
特許番号：特許第6705338号
出願日： 2016年08月19日
公開日（公表日）： 2018年02月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】オリエンテーション・フラットが形成された略円形のウエハの外周部の異常の有無を検査する装置であって、前記外周部を撮影する撮影部と、前記外周部を照らす照明部と、前記ウエハを回転させる回転駆動部と、前記撮影部が撮影した画像に基づいて前記外周部の異常の有無を判定する制御部と、を備え、前記撮影部は、前記ウエハの半径方向に沿って延びる視野を有し、前記制御部は、前記視野内において前記ウエハの半径方向に並ぶ所定値以上の輝度値を有する画素の数に基づいて前記外周部の異常の有無を判定し、前記撮影部の光軸は、前記半径方向に直交する、装置。

IPC (3件)：