特許
J-GLOBAL ID：200903064238338127

ウェーハ面取り装置

発明者：
池田 一実

池田 一実 について

, 
久松 美樹雄

久松 美樹雄 について


出願人/特許権者：
株式会社東京精密

株式会社東京精密 について


代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-261902
公開番号（公開出願番号）：特開2000-084811
出願日： 1998年09月16日
公開日（公表日）： 2000年03月28日
要約：
【要約】【課題】機上でウェーハの外形測定と、傷、欠けの有無の測定を行うことができるウェーハ面取り装置の提供。【解決手段】ウェーハWの外形及び面取り面に生じている傷等の有無を画像処理によって測定する後測定装置48を装置本体に組み込む。面取り加工されたウェーハWは、この後測定装置48で外形及び傷等の有無を測定される。そして、その測定結果に基づいて良好ウェーハWはウェーハカセット30に、また、不良ウェーハWX は不良ウェーハ回収カセット124に回収される。
請求項（抜粋）：
ウェーハを面取り加工する加工部と、該加工部にウェーハを供給する供給部と、該加工部で面取り加工されたウェーハの面取り面に生じている傷、欠けを検出する検出部と、該検出部で検出を終えたウェーハを回収する回収部と、を備えたウェーハ面取り装置であって、前記検出部は、ウェーハを保持して回転させる測定テーブルと、前記測定テーブルに保持されて回転するウェーハの面取り面を撮像する撮像手段と、前記撮像手段で撮像して得られた画像データに基づいて前記ウェーハの面取り面に生じた傷、欠けを検出する画像データ処理手段と、からなることを特徴とするウェーハ面取り装置。
IPC (2件)：
B24B 9/00 601 ,  H01L 21/304 621
FI (2件)：
B24B 9/00 601 H ,  H01L 21/304 621 E
Fターム (8件)：
3C049AA03 ,  3C049BA01 ,  3C049BA09 ,  3C049BB02 ,  3C049BC02 ,  3C049BC03 ,  3C049CA01 ,  3C049CB03
引用特許：
審査官引用 (8件)
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