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J-GLOBAL ID：202102210891105736   整理番号：21A0763672

レーザThomson散乱を用いた450MHz UHFプラズマのElectron密度と温度の空間分布の測定【JST・京大機械翻訳】

Measurements of Spatial Distributions of Electron Density and Temperature of 450 MHz UHF Plasma using Laser Thomson Scattering

著者 (4件)： PAN Yiming (Kyushu Univ.) ,  TOMITA Kentaro (Kyushu Univ.) ,  KAWAI Yoshinobu (Kyushu Univ.) ,  UCHINO Kiichiro (Kyushu Univ.)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 81st  ページ： ROMBUNNO.8a-Z04-5  発行年： 2020年08月26日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

本文一部表示： 非常に高い周波数(VHF)容量結合プラズマ(CCP)源は,半導体製造用のプラズマエッチングのような応用に対して現在広く使用されている。より高い駆動周波数は,より高いプラズマ密度を生成し,より高いエッチング速度をもたらす。ウエハ直径が300m...【JST・京大機械翻訳】【本文一部表示】

シソーラス用語： *Thomson散乱 ,  エッチング ,  *プラズマ ,  電子温度 ,  電子密度 ,  プラズマ密度 ,  テルル ,  ネオン ,  波長 ,  SHF【周波数】 ,  定在波 ,  迷光 ,  分光計 ,  プラズマエッチング
準シソーラス用語： 第二高調波 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： プラズマ装置  (BJ02082I) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： レーザ ,  Thomson散乱 ,  UHF ,  プラズマ ,  密度 ,  空間分布