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J-GLOBAL ID：202102221055446304   整理番号：21A0834681

フレキシブルポリマー上のPoly-SiTFTシステムと統合するa-Si膜光センサの提案

Proposal of a-Si film Photo-sensors Integrating with Poly-Si TFT System on Flexible Polymer

著者 (7件)： HIGASHIZAKO Tatsuyuki (Univ. the Ryukyus, Okinawa, JPN) ,  KOSWATHTHAGE Charith Jayanada (Univ. the Ryukyus, Okinawa, JPN) ,  OKADA Tatsuya (Univ. the Ryukyus, Okinawa, JPN) ,  NOGUCHI Takashi (Univ. the Ryukyus, Okinawa, JPN) ,  MORIMURA Taro (ULVAC Inc., Kanagawa, JPN) ,  NISHIKATA Osamu (ULVAC Inc., Kanagawa, JPN) ,  OTA Atsushi (ULVAC Inc., Kanagawa, JPN)
資料名： Proceedings of the International Display Workshops (CD-ROM)  (Proceedings of the International Display Workshops (CD-ROM))
巻： 24th  ページ： ROMBUNNO.FLXp1-11L  発行年： 2017年12月05日 
JST資料番号： L4269B  ISSN： 1883-2504  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ・PI(ポリイミド)/ガラス上にスパッタリングによりバッファ層を形成した後,300°Cの低温でPE-CVD(プラズマ化学気相成長法)によりa-Si膜を形成。
・曲げ可能なPIシートで高い感光性を確認,ガラス上にPE-CVDを使用し堆積した導電性フィルムで1800の感光性,バッファ層を備えたPI基板上で5700の感光性を確認。
・Si膜を局所的に結晶化する技術を用いて,高移動度のポリシリコンTFTと高感光性のセンサ膜を統合することにより,高性能の機能性ディスプレイパネルを実現することが可能。
・光センサーアレイと統合されたフレキシブル基板上にSi膜の局所領域用のTFTを製造することにより,高性能パネルが期待。

シソーラス用語： *装置 ,  *部材 ,  *部品 ,  重合体 ,  ポリシリコン ,  薄膜トランジスタ ,  *アモルファスシリコン ,  *光センサ ,  ポリイミド ,  スパッタリング ,  化学蒸着 ,  感受性
準シソーラス用語： CVD【化学蒸着】 ,  TFT【トランジスタ】 ,  *フレキシブルデバイス ,  ポリマ ,  感光性

分類 (1件)： 計測機器一般  (AD02000X)

引用文献 (4件)：

• T. Noguchi, Jap. J. Appl. Phys., 47, p.1858 (2008).
• T. Harada, F. Gakiya, Y. Ishiki, T. Okada, T. Noguchi, K. Noda, A. Suwa, and H. Ikenoue, Proc. of IDW2016, p.107,(2016).
• H. Tamashiro, K. Imura, T. Okada, T. Noguchi, Proc. of iMiD2015, p.150 (2015).
• F. Gakiya, T. Ashitomi T. Harada, T. Okada, T. Noguchi, O. Nishikata, A. Ota and K. Saito, Proc. of iMiD2016, D52-4 (2016)

タイトルに関連する用語 (4件)： ポリマー ,  統合 ,  光センサ ,  提案