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J-GLOBAL ID：202102230786195568   整理番号：21A0575896

光周波数コムレーザに基づく光学角度センサ技術【JST・京大機械翻訳】

Optical Angle Sensor Technology Based on the Optical Frequency Comb Laser

著者 (3件)： Shimizu Yuki ,  Matsukuma Hiraku ,  Gao Wei
資料名： Applied Sciences (Web)  (Applied Sciences (Web))
巻： 10  号： 11  ページ： 4047  発行年： 2020年 
JST資料番号： U7135A  ISSN： 2076-3417  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： しばしば光周波数コムと呼ばれるモード同期フェムト秒レーザは,過去20年間,生産工学を含む種々の産業分野での応用が増加している。これまで,モード同期フェムト秒レーザを絶対距離測定に適用する多くの努力がなされてきた。近年,モード同期フェムト秒レーザは角度測定における応用が増大し,安定光周波数,周波数領域における均等空間モード,および高ピーク電力を有する超短パルス列のようなモード同期フェムト秒レーザのユニークな特性が,精度と安定角度測定を達成するために利用される。本レビューでは,モード同期フェムト秒レーザに基づく光学角センサ技術のいくつかを紹介した。最初に,スケール格子の分散特性とモード同期フェムト秒レーザにおける離散化モードを結合することによって発生する角度スケールコムを紹介した。また,レーザオートコリメーションと角度スケールコムの概念を結合することによって実現したモード同期フェムト秒レーザオートコリメータのいくつかを説明した。絶対距離測定,横方向色収差,第二高調波発生(SHG)に基づく角度測定技術も紹介した。Copyright 2021 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 色収差 ,  回折格子 ,  モード同期 ,  オートコリメータ ,  コリメーション ,  距離測定 ,  生産技術 ,  周波数領域 ,  第二高調波発生 ,  *フェムト秒レーザ
準シソーラス用語： 超短パルス ,  離散化 ,  *光周波数コム ,  ピーク電力 ,  *光周波数 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (8件)： 光学角度センサ ,  モード同期フェムト秒レーザ ,  光周波数コム ,  レーザ自動コリメーション ,  回折格子 ,  絶対角度測定 ,  非線形光学 ,  第二高調波発生

分類 (4件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  固体レーザ  (BD04080W) ,  レーザ一般  (BD04030T) ,  光源  (BD07020D)

引用文献 (76件)：

• ISO. Geometrical Product Specifications (GPS)-Dimensional tolerancing-Part 2: Dimensions Other than Linear Sizes; ISO 14405-2:2011; ISO: Genava, Switzerland, 2012.
• Gao, W.; Haitjema, H.; Fang, F.Z.; Leach, R.K.; Cheung, C.F.; Savio, E.; Linares, J.M. On-machine and in-process surface metrology for precision manufacturing. CIRP Ann. 2019, 68, 843-866.
• Wallis, D.A. History of Angle Measurement. In Proceedings of the FIG Working Week 2005 and the 8th International Conference for Global Spatial Data Infrastructure, Cairo, Egypt, 16-21 April 2005; pp. 1-17.
• Gao, W. Precision Nanometrology-Sensors and Measuring Systems for Nanomanufacturing; Springer: Berlin/Heidelberg, Germany, 2010.
• Just, A.; Krause, M.; Probst, R.; Bosse, H.; Haunerdinger, H.; Spaeth, C.; Metz, G.; Israel, W. Comparison of angle standards with the aid of a high-resolution angle encoder. Precis. Eng. 2009, 33, 530-533.

タイトルに関連する用語 (4件)： 光周波数コム ,  レーザ ,  光学 ,  角度センサ