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J-GLOBAL ID：202102236805143482   整理番号：21A0217793

反応性スパッタリング法を用いた光導波路用SiCO薄膜の透明性向上

Transparency Improvement of SiCO Thin Film for Optical Waveguide with Reactive Sputtering Method

著者 (5件)： 新國広幸 (東京工業高等専門学校) ,  沼田千鶴 (東京工業高等専門学校) ,  山路涼斗 (長岡技術科学大学電気電子情報工学専攻) ,  伊藤浩 (東京工業高等専門学校) ,  川又由雄 (東京工業高等専門学校)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 140  号： 12  ページ： 369-373(J-STAGE)  発行年： 2020年 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,反応性ガスとしてO₂を用いた反応性スパッタリング法により,光導波路のためのSiCO薄膜の透明性を向上させた。酸素流量比(f_o)が異なる10固の試料を作製した。f_oが増加すると,以下の効果が観察された:O₂の増加,吸収係数の減少,光学ギャップの拡大,内部応力の緩和,屈折率の減少,および機械的強度(硬度およびYoung率)の低下。f_o≦10%のとき,これらの依存性が強いことが分かった。f_o=7%では,この薄膜は機械的強度,屈折率および光学ギャップ(1.80eV)が比較的高い。この場合,優れた光学的および機械的性質により,この薄膜を光導波路に適するようにする。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *光導波路 ,  *反応性スパッタリング ,  光学ギャップ ,  吸収係数 ,  内部応力 ,  応力緩和 ,  屈折率 ,  硬度 ,  Young率 ,  *圧力センサ ,  ケイ素化合物 ,  炭素化合物 ,  酸化物 ,  炭化ケイ素 ,  酸素 ,  添加 ,  流入量 ,  比率 ,  *透明度
準シソーラス用語： 酸素流入量 ,  酸素流量比 ,  *光導波型圧力センサ

著者キーワード (12件)： 光導波路 ,  センサ ,  反応性スパッタリング ,  SiCO薄膜 ,  光学的特性 ,  機械的特性 ,  optical waveguide ,  sensor ,  reactive sputtering ,  SiCO thin film ,  optical characteristic ,  mechanical characteristic

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

引用文献 (19件)：

• (1) L. M. Johnson, G. W. Pratt, and F. J. Leonberger : “Integrated-Optical Temperature Sensor”, in Technical Digest, Third International Conference on Integrated Optics and Optical Fiber Communication (Optical Society of America) Washington, DC, paper WL4 (1981)
• (2) M. Tabib-Azar and G. Beheim : “Modern Trends in Microstructures and Integrated Optics for Communication, Sensing and Actuation”, Opt. Eng., Vol. 36, No. 5, pp. 1307-1318 (1997)
• (3) M. Ohkawa, M. Izutsu, and T. Sueta : “Integrated Optic Pressure Sensor on Silicon Substrate”, Appl. Opt., Vol. 28, No. 23, pp. 5153-5157 (1989)
• (4) M. Ohkawa, Y. Shirai, T. Goto, S. Sekine, and T. Sato : “Silicon-Based Integrated Optic Pressure Sensors using Intermodal Interference between TM-like and TE-like Modes”, Fiber and Integrated Optics, Vol. 21, No. 2, pp. 105-113 (2002)
• (5) H. Nikkuni, Y. Watanabe, M. Ohkawa, and T. Sato : “Sensitivity Dependence with Respect to Diaphragm Thickness in Guided-Wave Optical Pressure Sensor Based on Elasto-Optic Effect”, Opt. Eng., Vol. 47, No. 4, pp. 044402-1~5 (2008)

タイトルに関連する用語 (4件)： 反応性スパッタリング ,  光導波路 ,  薄膜 ,  透明性