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J-GLOBAL ID：202102279117539222   整理番号：21A0133267

TiO₂膜に基づく高感度弾性表面波NH₃ガスセンサ

Highly Sensitive Surface Acoustic Wave NH₃ Gas Sensor Based on TiO₂ Film

著者 (3件)： ZHAO Lei (Nanjing Vocational Univ. Ind. Technol., Nanjing, CHN) ,  WANG Ruili (Massey Univ., Palmerston North, NZL) ,  CAO Qingqing (Nanjing Vocational Univ. Ind. Technol., Nanjing, CHN)
資料名： Sensors and Materials  (Sensors and Materials)
巻： 32  号： 12 (1)  ページ： 4111-4119  発行年： 2020年 
JST資料番号： L0338A  ISSN： 0914-4935  CODEN： SENMER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： TiO₂感受性膜に基づく表面音響波(SAW)NH₃ガスセンサを作製した。TiO₂膜をゾル-ゲル法とスピンコーティング技術を用いて堆積した。走査電子顕微鏡(SEM)とX線回折(XRD)の結果は,膜が多孔質で良好な結晶性を持つことを示した。Fourier変換赤外分光法(FTIR)分析は,周囲環境からH₂O分子を捕獲できる膜上に大量のヒドロキシル基が存在することを明らかにした。センサはNH₃ガスに対して正の応答を示し,その応答は相対湿度の増加と共に有意に増加した。正の応答は,NH₃によって触媒された膜上のヒドロキシル基の縮合によって誘起される,感受性膜の弾性率の変化に起因することが分かった。このセンサは1ppmの低い検出限界とNH₃ガスに対する優れた選択性と安定性を示した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *酸化チタン ,  弾性表面波 ,  *アンモニア ,  *ガスセンサ ,  *弾性表面波素子 ,  ゾル-ゲル法 ,  スピンコーティング ,  走査電子顕微鏡 ,  X線回折 ,  多孔性 ,  結晶度 ,  FTIR分光法 ,  水分子 ,  ヒドロキシ基 ,  相対湿度 ,  触媒 ,  弾性係数 ,  検出限界 ,  選択性 ,  安定性 ,  高感度
準シソーラス用語： *二酸化チタン ,  *表面音響波デバイス ,  SEM【顕微鏡】 ,  XRD分析 ,  多孔質 ,  結晶性 ,  FTIR【分光法】 ,  ヒドロキシル基 ,  弾性率

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

引用文献 (28件)：

• L. Yu’e and L. Erda: Nutr. Cycl. Agroecosyst. 57 (2000) 99. https://doi.org/10.1023/A:1009828705104
• N. Hu, Z. Yang, Y. Wang, L. Zhang, Y. Wang, X. Huang, H. Wei, L. Wei, and Y. Zhang: Nanotechnology 25 (2013) 025502. https://doi.org/10.1088/0957-4484/25/2/025502
• N. Peng, Q. Zhang, C. L. Chow, O. K. Tan, and N. Marzari: Nano Lett. 9 (2009) 1626. https://doi.org/10.1021/nl803930w
• J. Gong, Y. Li, Z. Hu, and Y. Deng: J. Phys. Chem. C 114 (2010) 9970. https://doi.org/10.1021/jp100685r
• N. Okada, F. Ishida, Y. Mitsui, K. Tadatomo, Hi. Mangyo, Y. Kobayashi, H. Ono, K. Ikenaga1, Y. Yano, and K. Matsumoto: Jan. J. Appl. Phys. 48 (2009) 062102. https://doi.org/10.1143/JJAP.48.062102

タイトルに関連する用語 (4件)： TiO2 ,  高感度 ,  弾性表面波 ,  NH3ガス