Efremov A. M. について
Ivanovo State University of Chemistry and Technology, Ivanovo, Russia について
Efremov A. M. について
Scientific Research Institute of System Analysis, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia について
Betelin V. B. について
Scientific Research Institute of System Analysis, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia について
Kwon K.-H. について
Korea University, Sejong, South Korea について
Russian Microelectronics について
エッチング について
プラズマ について
放電 について
ケイ素 について
HF【周波数】 について
速度論 について
揮発分 について
プラズマパラメータ について
有効相互作用 について
気相 について
RIE【エッチング】 について
粒子フラックス について
プラズマ化学 について
一酸化ケイ素 について
固体デバイス製造技術一般 について
プラズマ応用 について
混合物 について
プラズマ について
Si について
反応性イオンエッチング について
速度論 について