Horikawa Kiyotaka について
Faculty of Science and Engineering, Waseda University, 3-4-1 Okubo, Shinjuku, Tokyo 169-8555, Japan について
Okubo Satoshi について
Faculty of Science and Engineering, Waseda University, 3-4-1 Okubo, Shinjuku, Tokyo 169-8555, Japan について
Kawarada Hiroshi について
Faculty of Science and Engineering, Waseda University, 3-4-1 Okubo, Shinjuku, Tokyo 169-8555, Japan について
Hiraiwa Atsushi について
Research Organization for Nano and Life Innovation, Waseda University, 513 Waseda-tsurumaki, Shinjuku, Tokyo 162-0041, Japan について
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena について
結晶化 について
高温 について
格子欠陥 について
コンデンサ について
焼なまし について
絶縁破壊 について
帯電 について
電流 について
半導体 について
信頼性 について
絶縁材料 について
窒化ガリウム について
絶縁体 について
フラットバンド電圧 について
界面状態密度 について
金属-絶縁体-半導体構造 について
酸化物薄膜 について
GaN について
原子層蒸着 について
堆積 について
アニーリング効果 について