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J-GLOBAL ID：202102292922565744   整理番号：21A0256869

マイクロ流体デバイスにおける接着剤のはみだしがないパッケージング手法の提案

Proposal of a packaging method for microfluidic devices without adhesive protrusion

著者 (3件)： 大友泰輝 (東京工大) ,  吉田和弘 (東京工大) ,  KIM Joon-wan (東京工大)
資料名： 日本機械学会関東支部・精密工学会山梨講演会講演論文集(CD-ROM)
巻： 2020  ページ： ROMBUNNO.D45  発行年： 2020年11月16日 
JST資料番号： X0828B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年マイクロ流体デバイスは,バイオ分析等の多様な分野で応用されている。このデバイスは,MEMS技術で製作されたマイクロ流路をカバープレートと接着剤を用いて密封することで完成される.しかし,この手法では,接着剤のはみだしによる,流路の一部の閉塞が問題である.特に,液滴生成デバイスにおいて,流路の断面形状は生成される液滴に大きな影響を与えるため,流路を閉塞しないパッケージング手法が重要である.本報では3-アミノプロピルトリエトキシシランを用いたパッケージング手法を提案しその有効性を明らかにする.(著者抄録)

シソーラス用語： *マイクロ流体デバイス ,  *包装技法 ,  液滴 ,  滴状凝縮 ,  MEMS ,  マイクロチャネル ,  形態 ,  接着剤 ,  フォトレジスト ,  ポリジメチルシロキサン ,  プラスチック ,  板ガラス ,  接着 ,  脂肪族アミン ,  有機ケイ素化合物 ,  第一アミン
準シソーラス用語： PDMS【重合体】 ,  SU-8 ,  カバープレート ,  パッケージング技術 ,  マイクロ流路 ,  液滴生成 ,  断面形状 ,  微小液滴

分類 (1件)： 流体式制御機器  (IC02030J)

物質索引 (1件)： 3-アミノプロピルトリエトキシシラン

タイトルに関連する用語 (6件)： マイクロ流体デバイス ,  接着剤 ,  はみだし ,  パッケージング ,  手法 ,  提案