特許
J-GLOBAL ID：202103001651578105

検査装置及び検査方法

発明者：
池田 直仁

池田 直仁 について

, 
宇津木 健

宇津木 健 について

, 
田中 幸修

田中 幸修 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： 特許業務法人湘洋内外特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-189020
公開番号（公開出願番号）：特開2018-054392
特許番号：特許第6789049号
出願日： 2016年09月28日
公開日（公表日）： 2018年04月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 検査対象に照射した電磁波の反射成分を受光することで異物の有無を検査する検査装置であって、 2つ以上の異なる周波数帯の電磁波を照射する照射手段と、 前記検査対象に照射した電磁波の光強度を検出する検出手段と、 前記検出した光強度情報を格納及び演算する演算手段とを有し、 前記検査対象に照射する電磁波は、検査対象を透過することのできる周波数帯である第一の電磁波と、検査対象に対し透過性が低いもしくは第一の電磁波と比べて透過性が低い周波数帯である第二の電磁波を含み、 前記照射手段において検査対象の略同一領域に前記第一の電磁波及び前記第二の電磁波を偏光方向が互いに異なる偏光で照射し、前記演算手段は前記検出手段でそれぞれの反射光から検出された光強度を演算することを特徴とする検査装置。
IPC (2件)：
G01N 21/3581 ( 201 4.01) ,  G01N 21/88 ( 200 6.01)
FI (2件)：
G01N 21/358 ,  G01N 21/88 H
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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