特許
J-GLOBAL ID：201503027317882422
検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大山 健次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-209098
公開番号（公開出願番号）：特開2015-072241
出願日： 2013年10月04日
公開日（公表日）： 2015年04月16日
要約：
【課題】試料の内部に存在する欠陥と試料の表面に存在する欠陥とを個別に検出できる検査装置を提供する。【解決手段】検査装置は、試料に対して透過性を有する第1の波長域の照明光及び試料に対して透過性を有しない第2の波長域の照明光を含む照明ビームを投射する照明光学系と、試料の表面反射画像及び内部反射画像を撮像する第1の撮像装置11と、第2の波長域の光により形成される表面反射光を受光して試料の表面反射画像を撮像する第2の撮像装置16とを含む検出系と、前記第1の撮像装置により形成される表面反射画像及び内部反射画像と前記第2の撮像装置により形成された表面反射画像とを用いて試料の内部欠陥を検出する信号処理装置13を有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
検査すべき試料の内部に存在するボイドないし欠陥を検出する検査装置であって、
試料に対して透過性を有する第1の波長域の照明光及び試料に対して透過性を有しない第2の波長域の照明光を含む照明ビームを発生し、当該照明ビームを前記試料に向けて投射する照明光学系と、
試料の表面で反射した表面反射光及び試料の内部のボイドないし欠陥で反射した内部反射光を含む反射ビームを受光する検出系と、
前記検出系から出力される出力信号を受け取り、試料の内部に存在するボイドないし欠陥を検出する信号処理装置とを有し、
前記検出系は、前記表面反射光及び内部反射光を受光して、前記試料の表面反射画像及び内部反射画像を撮像する第1の撮像装置と、前記第2の波長域の光により形成される表面反射光を受光して試料の表面反射画像を撮像する第2の撮像装置とを含み、
前記照明光学系は、ステージ上に配置された試料に対して垂直に照明ビームを投射する対物レンズを有し、前記第1及び第2の撮像装置は、試料から出射した反射光を前記対物レンズを介して受光し、
前記信号処理装置は、前記第1の撮像装置により形成される表面反射画像及び内部反射画像と前記第2の撮像装置により形成される表面反射画像との差分画像を形成する差分画像形成手段を有することを特徴とする検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (12件)：
2G051AA51
, 2G051AB06
, 2G051AB07
, 2G051BA08
, 2G051CA03
, 2G051CB01
, 2G051CC07
, 2G051CC12
, 2G051DA07
, 2G051EA08
, 2G051EA16
, 2G051EA24
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (8件)
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