特許
J-GLOBAL ID:202103001798107221

計測システム、計測方法および計測プログラム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人深見特許事務所
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-162269
公開番号(公開出願番号):特開2018-031604
特許番号:特許第6872324号
出願日: 2016年08月22日
公開日(公表日): 2018年03月01日
請求項(抜粋):
【請求項1】 複数の測定点において対象物との距離を測定することにより前記対象物の3次元座標のデータを計測する計測部と、 3次元座標が既知である既知対象物における前記複数の測定点の各々について、前記計測部により複数回計測することにより得られた補正用データと前記既知対象物の真値とに基づいて、前記複数の測定点の各々についての補正用データの信頼度を算出する算出部と、 測定対象物を前記計測部により計測することで得られた前記複数の測定点の各々における計測データのうち、前記信頼度の高い前記補正用データの前記測定点に対応した点で計測された前記計測データと補正値との差分である補正幅に対する重み付けが、前記信頼度の低い前記補正用データの前記測定点に対応した点で計測された前記計測データの前記補正幅に対する重み付けよりも大きくなるように補正する補正部とを備える、計測システム。
IPC (1件):
G01B 21/20 ( 200 6.01)
FI (1件):
G01B 21/20 C
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 調整方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2005-134013   出願人:株式会社ニコン

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