特許

J-GLOBAL ID：202103001898878373

MEMSガスセンサ

発明者： シュールマン,グレゴール
出願人/特許権者： ロベルト・ボッシュ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング
代理人 (5件)： 小野 新次郎 ,  山本 修 ,  中西 基晴 ,  松尾 淳一 ,  鳥居 健一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-566325
特許番号：特許第6836668号
出願日： 2018年05月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 MEMS媒体センサであって、 キャリア層(4)によって互いに電気的に分離して配置された少なくとも2つの電極(1,2)を含み、2つの電極(1,2)を電気的に接続するための媒体感応性の材料(3)がキャリア層(4)上に塗布され、キャリア層(4)の、媒体感応性の材料(3)を塗布するための表面領域が、媒体感応性の材料(3)の粒子の粒子サイズに適合されたトポグラフィ(13)を有し、 媒体感応性の前記材料(3)が、少なくとも2つの異なる粒子サイズ(10,11)の粒子(10,11)を有し、 同じ粒子サイズを有する粒子(10;11)が実質的に同じ平面において配置され、それと異なる粒子サイズを有する粒子がそれと異なる平面において配置される、 MEMS媒体センサ。

IPC (1件)：

G01N 27/12 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01N 27/12 B ,  G01N 27/12 M

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-251755
  
• ガスセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-264209   出願人：フィガロ技研株式会社
• ガス検知素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-311461   出願人：新コスモス電機株式会社
• 特開昭62-083641