特許
J-GLOBAL ID：200903013597039506
ガスセンサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
塩入 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-264209
公開番号（公開出願番号）：特開平7-092123
出願日： 1993年09月27日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：
【要約】【目的】 薄膜プロセス用の基板に対する、厚膜ガス感応体の付着力を高め、ガスセンサを小型化する。【構成】 鏡面Al2O3基板に、イオンミリングにより深さ0.6μm程度の溝を設け、SnO2膜やフィルタ膜の付着力を増加させる。
請求項（抜粋）：
耐熱絶縁基板上に、厚膜のガス感応体と、この感応体に接続した電極とを設けたガスセンサにおいて、少なくとも前記感応体の下地の領域を粗面化したことを特徴とする、ガスセンサ。
引用特許：
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