特許
J-GLOBAL ID：202103002968841150
膜スタック形成のためのデュアルチャネルシャワーヘッド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
園田・小林特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-090190
公開番号（公開出願番号）：特開2017-011261
特許番号：特許第6807656号
出願日： 2016年04月28日
公開日（公表日）： 2017年01月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 半導体処理チャンバのためのシャワーヘッドであって、
第1のガスチャネルを含む本体を通って形成された複数の第1の開口と、前記第1のガスチャネルから流体的に分離している第2のガスチャネルを含む前記本体を通って形成された複数の第2の開口とを有する、導電性材料を含む本体であって、前記第1の開口の各々が、前記第2の開口の各々と異なる形状寸法を有している本体
を備え、
前記本体は、前記本体の一面に前記複数の第1の開口及び前記複数の第2の開口と共に点在するブラインドコーンであって、前記本体の一面から凹んだ円錐状の表面を有し、前記第1のガスチャネル及び前記第2のガスチャネルから流体的に分離された、ブラインドコーンを備える、シャワーヘッド。
IPC (3件)：
H01L 21/31 ( 200 6.01)
, H01L 21/3065 ( 200 6.01)
, C23C 16/455 ( 200 6.01)
H01L 21/31 C
, H01L 21/302 101 L
, C23C 16/455
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (7件)
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