特許
J-GLOBAL ID：200903070256035077
シャワープレート
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-310154
公開番号（公開出願番号）：特開平9-129563
出願日： 1995年11月02日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：
【要約】[目的] CVD成膜時に付着する薄膜成分が厚膜化しても剥離し難いシャワープレートを提供すること。[構成] 外径350mmφ、厚さ10mmのアルミニウム板(A5052)の基板に対向する面に2mmピッチで幅1mmの溝を縦方向と横方向に掘り、形成される凸部Mと凹部NにR=0.5mmの丸みを付けて凹凸の深さ2mmの凹凸面を形成させ、直径0.4mmφのガス吹き出し用細孔13を20mmピッチで凸部Mに開口させてシャワープレート17とする。
請求項（抜粋）：
CVD用真空装置内に設置され、原料ガスを基板面へ均一に供給するための細孔が多数に設けられているシャワープレートにおいて、前記基板に対向する面に大きさが数ミリメートルまたはミリメートル以下の凹凸が設けられていることを特徴とするシャワープレート。
IPC (3件)：
H01L 21/205
, C23C 16/44
, H01L 21/31
H01L 21/205
, C23C 16/44 D
, H01L 21/31 C
