特許
J-GLOBAL ID：202103004201094557
ロードポート装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田・鈴木国際特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-170011
公開番号（公開出願番号）：特開2018-037543
特許番号：特許第6874303号
出願日： 2016年08月31日
公開日（公表日）： 2018年03月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ウエハを出し入れするための主開口が側面に形成された容器を載置する載置台と、
前記主開口に連通する装置開口が形成されており、前記載置台側を向く外側面と前記外側面とは反対方向を向く内側面とを有する壁部と、
前記主開口及び前記装置開口を開閉する開閉部と、
前記装置開口における少なくともいずれか1つの辺に沿って設けられており、前記壁部の前記内側面から突出し、前記装置開口に近い開口側と前記装置開口から遠い外部側とに前記内側面を仕切るカバー部材と、
前記カバー部材に対して相対移動可能に接続されるカバー付属可動板と、を有し、
前記カバー付属可動板は、前記壁部に垂直な方向から見て前記装置開口に一部が重なる遮蔽位置と、前記壁部に垂直な方向から見て前記装置開口に重なる面積が前記遮蔽位置より狭い退避位置と、の間で移動されることを特徴とするロードポート装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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