特許

J-GLOBAL ID：202103004335871088

円筒対称要素上を覆うターゲット素材を有するレーザ生成プラズマ光源

発明者： クリスティン アレクセイ ,  アール ブライアン ,  ガルシア ルディ ,  チャイルス フランク ,  コーディキン オレグ
出願人/特許権者： ケーエルエー コーポレイション
代理人 (1件)： 特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-525357
特許番号：特許第6979404号
出願日： 2016年11月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 ステータ体と、 ある軸周りで可回動であり、ドライブレーザによる照射を受けレーザ生成プラズマ(LPP)チャンバ内にプラズマを発生させるプラズマ形成ターゲット素材の帯で覆われた表面を有し、第1端から第2端へと延びる円筒対称要素であって、上記プラズマ形成ターゲット素材の帯で覆われた表面が上記第1端と上記第2端の間に配置された円筒対称要素と、 上記円筒対称要素の第1端を上記ステータ体に連結し、軸受け気体流を成立させる気体軸受けアセンブリであり、その軸受け気体流が通流している第1空間内に遮断気体(barrier gas)を導入することで上記LPPチャンバ内への軸受け気体の漏れを減らすシステムを有する気体軸受けアセンブリと、 上記円筒対称要素の第2端を上記ステータ体に連結する第2軸受けアセンブリであり、当該第2軸受けアセンブリに連通している第2空間内に第2遮断気体を導入することでその第2軸受けアセンブリから上記LPPチャンバ内への汚染物質の漏れを減らすシステムを有する第2軸受けアセンブリと、 を備える装置。

IPC (2件)：

G03F 7/20 ( 200 6.01) ,  H05G 2/00 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G03F 7/20 503 ,  G03F 7/20 521 ,  H05G 2/00 K

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-256915
  
• 極端紫外光源装置用ドライバレーザシステム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-310410   出願人：株式会社小松製作所, ウシオ電機株式会社, ギガフォトン株式会社
• 差動排気システム及び露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-107771   出願人：キヤノン株式会社