極端紫外光源装置用ドライバレーザシステム

発明者： , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (3件)：宇都宮正明 , 渡部温 , 柳瀬睦肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-310410
公開番号（公開出願番号）：特開2006-128157
出願日： 2004年10月26日
公開日（公表日）： 2006年05月18日
要約：

【課題】高効率で安定してEUV光を発生させることができるEUV光源装置用ドライバレーザシステムを安価に提供する。【解決手段】 MOPA(master oscillator power amplifier)方式に従って構成されたレーザシステム3であって、レーザ光を発生し、該レーザ光のパルス幅が所定の値まで短くなるようにレーザ光のパルス幅を制御して、並列して配置された複数のレーザ増幅系304(1)及び304(2)並びに305(1)及び305(2)において該レーザ光を増幅するレーザシステムと、複数のレーザ増幅系からレーザ光が順次出射するようにレーザシステムの動作タイミングを制御するレーザシステム制御装置4とを含む。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

レーザ光源から出力されたレーザ光をターゲット物質に照射することにより、前記ターゲット物質をプラズマ化して極端紫外光を発生させる極端紫外光源装置において用いられるドライバレーザシステムであって、 MOPA(master oscillator power amplifier)方式に従って構成されたレーザ光出射手段であって、レーザ光を発生し、該レーザ光のパルス幅が所定の値まで短くなるようにレーザ光のパルス幅を制御して、並列して配置された複数のレーザ増幅系において該レーザ光を増幅する前記レーザ光出射手段と、前記複数のレーザ増幅系からレーザ光が順次出射するように前記レーザ光出射手段の動作タイミングを制御する制御手段と、を具備する極端紫外光源装置用ドライバレーザシステム。

IPC (5件)：

H01S 3/10 , H01S 3/23 , H05G 2/00 , H01L 21/027 , H01S 3/225

FI (5件)：

H01S3/10 Z , H01S3/23 , H05G1/00 K , H01L21/30 531S , H01S3/223 E

Fターム (23件)：

4C092AA06 , 4C092AB21 , 4C092AC09 , 5F046GC03 , 5F046GC05 , 5F071AA05 , 5F071EE04 , 5F071GG02 , 5F071HH09 , 5F071JJ02 , 5F071JJ05 , 5F071JJ08 , 5F172AD05 , 5F172DD03 , 5F172DD06 , 5F172EE22 , 5F172NN13 , 5F172NN16 , 5F172NN23 , 5F172NP01 , 5F172ZA02 , 5F172ZA04 , 5F172ZZ02

引用特許：

出願人引用 (7件)

米国特許US6,307,913B1号明細書(図12、図13)
レーザー励起X線発生装置及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-287385 出願人：株式会社筑波リエゾン研究所
米国特許US2004/22295A1号明細書

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審査官引用 (22件)

マイクロターゲットを用いた方法及びラジエーション生成システム
公報種別：公表公報出願番号：特願2001-534180 出願人：ジェイエムエーアールリサーチインク
X線源用フィルタ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-155329 出願人：株式会社ニコン
色素レーザ発振方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-077632 出願人：レーザー濃縮技術研究組合, 株式会社東芝

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