三次元座標測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：松浦憲三 , 大原一樹 , 松村潔 , 松浦憲政
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2021-042814
公開番号（公開出願番号）：特開2021-092590
出願日： 2021年03月16日
公開日（公表日）： 2021年06月17日
要約：

【課題】Yキャリッジの振れを抑止することができ、測定精度の向上を図ることができる三次元座標測定装置を提供する。【解決手段】定盤と、二つの支柱部材により定盤に支持されるYキャリッジと、二つの支柱部材は、YキャリッジをY軸方向に駆動する駆動機構をもつ第1の支柱部材と、第1の支柱部材に追従移動する第2の支柱部材とを有し、定盤は、第1の支柱部材側で、定盤の上面に垂直な2側面であって定盤の側面と定盤にY軸方向に沿って形成された溝の側面とからなる2側面を有するガイドであって且つY軸方向に延びるガイドを有し、第1の支柱部材は、ガイドの上面に摺動自在に支持され、且つ第1の支柱部材はガイドを上下左右から挟み込む2対の上下側面支持部材を有し、駆動機構が、ローラと、ローラを回転させるモータと、を備える。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

上下面と側面を有し、測定対象物を載置する定盤と、測定プローブを支持し、前記定盤を跨いで前記定盤のY軸方向に移動自在な門型のYキャリッジであって、二つの支柱部材により定盤に支持されるYキャリッジと、前記二つの支柱部材は、前記Yキャリッジを前記Y軸方向に駆動する駆動機構をもつ第1の支柱部材と、前記第1の支柱部材に追従移動する第2の支柱部材とを有し、前記定盤は、前記第1の支柱部材側で、前記定盤の上面に垂直な2側面であって前記定盤の側面と前記定盤に前記Y軸方向に沿って形成された溝の側面とからなる2側面を有するガイドであって且つ前記Y軸方向に延びるガイドを有し、前記第1の支柱部材は、前記ガイドの上面に摺動自在に支持され、且つ前記第1の支柱部材は前記ガイドを上下左右から挟み込む2対の上下側面支持部材を有し、前記駆動機構が、ローラと、前記ローラを回転させるモータと、を備える三次元座標測定装置。

IPC (2件)：

G01B 5/00 , G01B 21/00

FI (2件)：

G01B5/00 L , G01B21/00 L

Fターム (22件)：

2F062AA04 , 2F062CC03 , 2F062CC07 , 2F062EE01 , 2F062EE62 , 2F062FF02 , 2F062FG07 , 2F062GG17 , 2F062HH01 , 2F062MM06 , 2F069AA04 , 2F069DD09 , 2F069EE02 , 2F069EE04 , 2F069GG01 , 2F069GG62 , 2F069HH01 , 2F069JJ04 , 2F069MM04 , 2F069MM13 , 2F069MM23 , 2F069MM32

引用特許：

出願人引用 (11件)

特許第6099290号
特許第6274349号
特許第6745024号

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審査官引用 (2件)

特開昭62-235502
測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2013-122168 出願人：キヤノン株式会社

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