特許
J-GLOBAL ID：202103006108711247
位置合わせ装置、位置合わせ方法、リソグラフィ装置、および物品製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人大塚国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-244538
公開番号（公開出願番号）：特開2018-098456
特許番号：特許第6971567号
出願日： 2016年12月16日
公開日（公表日）： 2018年06月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 原版と基板との位置を合わせる位置合わせ装置であって、
前記原版を保持する原版保持部と、
前記基板を保持する基板保持部と、
前記原版または前記原版保持部に配置された粗計測用の第1原版側マークおよび精密計測用の第2原版側マークと、前記基板または前記基板保持部に配置された粗計測用の第1基板側マークおよび精密計測用の第2基板側マークとを照明する照明部を含み、前記原版と前記基板との位置ずれを計測する計測部と、
を有し、
前記計測部は、前記照明部に第1条件で照明させ、前記第1原版側マークおよび前記第1基板側マークからの光に基づいて粗計測を行い、前記照明部に第2条件で照明させ、前記第2原版側マークおよび前記第2基板側マークからの光に基づいて精密計測を行い、
前記第1条件は、前記照明部から射出される光の波長のうち、前記第1原版側マークからの光量と前記第1基板側マークからの光量との差が許容範囲内に収まるように選択された波長の条件であり、
前記第2条件は、前記照明部から射出される光の波長のうち、前記第2原版側マークおよび前記第2基板側マークからの光量が大きくなるように選択された波長の条件である、
ことを特徴とする位置合わせ装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01)
, G01B 11/00 ( 200 6.01)
, H01L 21/68 ( 200 6.01)
, B29C 59/02 ( 200 6.01)
H01L 21/30 502 D
, G01B 11/00 G
, H01L 21/68 G
, B29C 59/02 Z
