紫外線照射装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：龍華国際特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-156915
公開番号（公開出願番号）：特開2018-023923
特許番号：特許第6826836号
出願日： 2016年08月09日
公開日（公表日）： 2018年02月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】透過部を有し、被照射物質を内部に保持可能な容器と、紫外線を含む照射光を前記透過部の第1面側から第2面側に透過して、前記容器の内部に照射する照射部と、前記容器の内側で反射され、前記透過部の前記第2面側から前記第1面側に透過した前記照射光を受光する第1受光部と、前記照射光を受光して、前記照射光に応じた受光光量を出力する第2受光部と、前記容器の内側から前記第2受光部に入射する光を遮光し、前記照射部から照射された前記照射光の一部を前記第2受光部に向けて反射する反射部とを備える紫外線照射装置。

IPC (3件)：