イオン源の動的温度制御

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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：杉村憲司 , 杉村光嗣 , 石川雅章
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-532975
公開番号（公開出願番号）：特表2021-507462
出願日： 2018年10月24日
公開日（公表日）： 2021年02月22日
要約：

イオン源のフェースプレートの温度を変化させるためのシステム及び方法を開示する。フェースプレートは複数の緊締具によってイオン源のチャンバ壁に保持する。これら緊締具としては、引張ばね又は圧縮ばねがあり得る。負荷の下での引張又は圧縮ばねの長さを変化させることによって、ばねのばね力を増加させることができる。この増加したばね力は、フェースプレートとチャンバ壁との間の圧縮力を増加させ、向上した熱伝導率をもたらす。若干の実施形態において、ばね長さは、電子的長さ調節器によって調節される。この電子的長さ調節器は、ばねの所望長さを示す電気信号を出力するコントローラと通信する。ばねの長さを調節する種々の機構を開示する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

イオン源であって、複数のチャンバ壁と、圧縮力を使用して前記チャンバ壁に当接配置されるフェースプレートと、及び前記フェースプレートを前記チャンバ壁に固定する1つ又はそれ以上の緊締具であり、前記緊締具によって印加される圧縮力が電子的に変化され得る、該緊締具と、を備える、イオン源。

IPC (2件)：

H01J 27/02 , H01J 37/08

FI (2件)：

H01J27/02 , H01J37/08

Fターム (3件)：

5C030DD04 , 5C030DE01 , 5C030DE10

引用特許：

審査官引用 (2件)

新規の改良されたイオンソース
公報種別：公表公報出願番号：特願2009-511072 出願人：アクセリステクノロジーズ,インコーポレイテッド
イオン源
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-222310 出願人：日新電機株式会社

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