特許
J-GLOBAL ID：200903087305319680
新規の改良されたイオンソース
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人原謙三国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-511072
公開番号（公開出願番号）：特表2009-537951
出願日： 2007年05月17日
公開日（公表日）： 2009年10月29日
要約：
イオンストリームを作り出す好適なイオンソース12は、アークチャンバのイオン化領域Rを少なくとも部分的に制限するアルミニウム合金のアークチャンバの筐体76を備えている。アークチャンバの筐体は、熱フィラメントのアークチャンバのハウジングであって、電子がアークチャンバのイオン化領域を流れるのに十分な温度にカソード124を直接的又は間接的に加熱するハウジングとともに使用される。温度センサは、アークチャンバ76の内部の温度を監視するとともに、感知温度に関する信号を供給する。コントローラは、センサにより測定された感知温度を監視するとともに、感知温度を範囲内に維持するように温度を調節する。
請求項（抜粋）：
イオンストリームを作り出すために使用されるイオンソースにおいて、
アルミニウム合金のアークチャンバのハウジングであって、当該ハウジングの内部に注入されたガス分子をイオン化する高エネルギー電子が高温の伝導体から移動する際に通過するイオン化領域を少なくとも部分的に制限するハウジングを備えていることを特徴とするイオンソース。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
5C030DD03
, 5C030DD05
, 5C030DE01
, 5C030DE06
, 5C030DE09
