固体撮像素子及び撮像装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：杉村憲司 , 杉村光嗣 , 福尾誠 , 齋藤恭一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-129482
公開番号（公開出願番号）：特開2021-016069
出願日： 2019年07月11日
公開日（公表日）： 2021年02月12日
要約：

【課題】シングルフォトンカウンティングにおいてフォトンの数え落としを低減することができる、高感度の固体撮像素子及び撮像装置を提供する。【解決手段】固体撮像素子は、アバランシェ電荷増倍をする光電変換部2と、光電変換部で生成する電荷量に対応した電圧値としきい値電圧とを比較してパルスを発生し、パルスをカウントしてパルス数を出力するアナログ/デジタル変換回路を含む信号読み出し回路とを画素ごとに備える。信号読み出し回路は、コンパレータ41とカウンタ61を備え、1つのフォトンで生成された電荷量に対応するしきい値電圧VTH1を有する第1のアナログ/デジタル変換回路と、コンパレータ42とカウンタ62を備え、2つのフォトンで生成された電荷量に対応するしきい値電圧VTH2を有する第2のアナログ/デジタル変換回路とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

アバランシェ電荷増倍をする光電変換部と、前記光電変換部で生成する電荷量に対応した電圧値としきい値電圧とを比較してパルスを発生し、前記パルスをカウントしてパルス数を出力するアナログ/デジタル変換回路を含む信号読み出し回路とを、画素ごとに備えた固体撮像素子において、前記信号読み出し回路は、1つのフォトンで生成された電荷量に対応する前記しきい値電圧を有する第1のアナログ/デジタル変換回路と、 2つのフォトンで生成された電荷量に対応する前記しきい値電圧を有する第2のアナログ/デジタル変換回路とを備えていることを特徴とする、固体撮像素子。

IPC (7件)：

H04N 5/378 , H04N 5/374 , H04N 9/09 , G01J 1/42 , G01J 1/04 , G01J 1/02 , H01L 27/146

FI (9件)：

H04N5/378 , H04N5/374 , H04N9/09 A , G01J1/42 H , G01J1/04 B , G01J1/02 Q , H01L27/146 A , H01L27/146 D , H01L27/146 E

Fターム (38件)：

2G065AA01 , 2G065BA09 , 2G065BA34 , 2G065BB25 , 2G065BC05 , 2G065BC14 , 2G065BC28 , 4M118AA10 , 4M118AB01 , 4M118BA07 , 4M118CA03 , 4M118CA06 , 4M118CB01 , 4M118CB02 , 4M118CB03 , 4M118CB05 , 4M118CB06 , 4M118CB14 , 4M118DB09 , 4M118DD04 , 4M118DD09 , 4M118FA06 , 4M118FB23 , 4M118GC08 , 4M118GC14 , 4M118HA25 , 5C024CX11 , 5C024GX03 , 5C024GY31 , 5C024HX23 , 5C024HX26 , 5C024HX29 , 5C024HX32 , 5C065CC01 , 5C065DD01 , 5C065DD19 , 5C065EE03 , 5C065GG18

引用特許：

審査官引用 (8件)

固体撮像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-048983 出願人：日本放送協会
高速XAFS計測装置及びその作動方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-150742 出願人：公益財団法人高輝度光科学研究センター, 応用光研工業株式会社
半導体装置、撮像システム及び電子機器
公報種別：公開公報出願番号：特願2016-087068 出願人：株式会社半導体エネルギー研究所

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